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Aluminum nitride MEMS resonant pressure gauges without vacuum packaging
IEEE Electron Device Letters ( IF 4.9 ) Pub Date : 2024-03-25 , DOI: 10.1109/led.2024.3381115 Haolin Li 1 , Qingrui Yang 1 , Hexu Luo 1 , Yi Gong 1 , Ye Yuan 1 , Pengfei Niu 1 , Bohua Liu 1 , Chongling Sun 1 , Menglun Zhang 1 , Wei Pang 1
中文翻译：
无真空封装氮化铝MEMS谐振压力表
更新日期：2024-03-25
IEEE Electron Device Letters ( IF 4.9 ) Pub Date : 2024-03-25 , DOI: 10.1109/led.2024.3381115 Haolin Li 1 , Qingrui Yang 1 , Hexu Luo 1 , Yi Gong 1 , Ye Yuan 1 , Pengfei Niu 1 , Bohua Liu 1 , Chongling Sun 1 , Menglun Zhang 1 , Wei Pang 1
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无真空封装氮化铝MEMS谐振压力表
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