庄须叶 - 山东理工大学 - 机械工程学院

个人简介

个人基本情况庄须叶，1981年生，中国党员，山东理工大学特聘教授，入选工信部“人工智能”专家库，山东省 “泰山学者”青年专家，安徽省“特支计划”创新领军人才，中科院“西部之光”创新人才，中南大学特聘博士、硕士生导师，中国科技大学校外硕士生导师，蚌埠医学院特聘教授，东北大学博士后，安徽省“115产业创新团队”人才，多次以专家/专家组长的身份参加省部级项目的评审活动。先后承担和参研了国家重大专项、武器装备探索研究、装备预研、自然基金、863计划、中科院人才创新基金以及兵器工业集团军品、民品等多项科研工作，共计发表论文30余篇，申请发明专利20余项。开设课程《光电探测》、《传感器原理及应用》近年的科研项目、专著与论文、专利、获奖专利： 1.XXX的制备方法，国防发明专利，ZL 201618002963.5，2019年授权，排名第1 2.一种用于微机电构件硅深腔的无损检测方法，发明专利，ZL 2013105881190，2016年授权，排名第1 3.机电设备管线固定装置，发明专利，ZL 2013 10589123.9，2015年授权，排名第1 4.一种大行程结构的静电驱动MEMS变形镜的制作方法，发明专利，ZL 2012 10461758.6，2015年授权，排名第1 5.平行度可调的微机电系统法布里珀罗腔波长可调滤波器，发明专利，ZL 2012 10407660.2，2014年授权，排名第1 6.一种远场光纤消逝场的传感方法，发明专利，ZL 2011 10209294.5，2014年授权，排名第1 7.偏转轴可自由变换的二维MEMS倾斜镜，发明专利，ZL 2011 10224471.7，2013年授权，排名第1 8.微纳结构的光纤消逝场传感器，发明专利， ZL 2011 10209294.5，2013年授权，排名第1 9.压强、温度和组分浓度同时检测的多态气液光纤传感器，发明专利，ZL 2011 10216686.4，2013年授权，排名第1 10.消逝场与柔性平板波联合探测生物传感器，发明专利，ZL 200710055948.7，2011年授权，排名第4 11.D形光纤磨削夹具，发明专利，发明专利，ZL 200710193584.9，2009年授权，排名第2 申请专利 12.2017年，发明专利“双电极结构带裙边的W形微机电半球陀螺仪” 获得受理，申请号：2017106883350，排名第1 13.2017年，发明专利“内外双曲面立体电极的微半球陀螺仪” 获得受理，申请号：2017106883416，排名第1 14.2018年，发明专利“一种微半球谐振装置”，获得受理，申请号：201811099633.7，排名第1 15.2018年，发明专利“一种微型半球谐振陀螺”，获得受理，申请号：201811099647.9，排名第1 16.2018年，发明专利“一种硅片腐蚀装置”，获得受理，申请号：201811167918.X，排名第1 项目情况 1.XXXXX研制与应用，颠覆性创新项目，（项目技术专家）； 2.微流量传感器，新品研发，项目负责人； 3.高精度XXX技术，预研，项目负责人； 4.硅基微半球陀螺的飞秒激光高精度质量调平方法研究，国家自然基金，项目负责人； 5.军民两用XX传感器，新品开发，项目负责人； 6.静电驱动MEMS振镜制作，新品开发，项目负责人； 7.硅基XXX关键工艺研究，军品预研，项目负责人； 8.MEMS半球陀螺仪半球形硅深腔的三维检测技术研究，工艺研发，项目负责人； 9.扫描电镜高精度测量方法及其误差处理技术研究，工艺研发，项目负责人； 10.硅基XX关键技术研究，探索研究，项目管理与技术负责人； 11.XXX陀螺仪，军品预研，关键器件部分负责人； 12.车用MEMS压力传感器，民品开发，主要参研人员； 13.三轴高g值加速度传感器，，工艺研发，主要参研人员； 14.晶圆级金硅共晶键合真空封装工艺研究，工艺研发，主要参研人员； 15.半球深腔内光刻的工艺研究，工艺研发，主要参研人员； 16.不等高结构的刻蚀工艺研究，工艺研发，主要参研人员。 17.新型微纳结构光纤消逝场传感器技术研究，中国科学院创新人才，项目负责人。 18.微型拉曼光谱仪研发，国家重大科学仪器设备开发和应用专项，子项目召集人。 19.此外还参与，国家自然科学基金面上项目“自适应光学系统中MEMS变形镜的时空特性研究”；四川省青年科技基金“应用于光通信的微光机电系统高性能驱动器研究”，中科院XX科技XX基金“MEMS变形镜在XXXX中应用的探索研究”，中科院光电所领域前沿部署课题“基于MEMS深刻蚀光刻的微变形镜工艺技术研究”等项目，设计了非正交二维微机械倾斜镜、多面形微机械光调制器、多单元连续面形光调制器等新器件。获奖情况 1.集成3D曲面立体电极的硅MEMS半球陀螺仪制备技术，安徽省科学技术进步奖三等奖。 2.硅基半球谐振陀螺用谐振器关键技术研究，北方电子研究院有限公司科技进步奖特等奖； 3.关于半球陀螺3D球面电极加工工艺的创新，北方电子集团工艺创新三等奖； 4.基于微纳制造的声光传感及生化分析系统, 吉林省科技技术进步奖一等奖。 5.提高XXX型MEMS陀螺PAD点电气连接性能合格率，质量管理QC一等奖，授予单位中国兵器工业质量协会； 6.硅半球深腔PDMS脱模检测工艺技术研究，科技论文大赛一等奖，授予单位北方通用电子集团有限公司； 7.214所工艺一部“MEMS”QC小组，质量管理QC一等奖，授予单位中国兵器工业质量协会； 8.硅MEMS半球陀螺3D球面电极加工工艺研究，科技论文大赛一等奖，授予单位北方通用电子集团有限公司； 9.提高某型号陀螺VHF释放构合格率，质量管理QC二等奖，授予单位中国兵器工业质量协会；

研究领域

查看导师最新文章（温馨提示：请注意重名现象，建议点开原文通过作者单位确认）

主要从事传感器研究，包括多传感器融合技术、智能传感器、光纤传感器、激光雷达MEMS振镜、自适应光学MEMS变形镜、气体传感器、MEMS惯导器件以及MEMS工艺技术方面的研究工作

学术兼职

任国际期刊《Sensors & Transducers》的客座编辑，Intech出版社特约编辑，《Applied Optics》、CMSE(International Conference on Materials Science and Engineering)、《光学精密工程》、《Journal of Nanoscience and Nanotechnology Applications》等国际期刊、会议的审稿专家